ZYGO 作為深耕超精密制造技術領域數十年的企業，專注于表面測量、位置傳感、精密光學元件及組件制造，為各行業提供專業的光學計量解決方案。NewView™ 9000 3D 光學表面輪廓儀是 ZYGO 旗下核心計量產品，依托前沿的光學測量技術與智能化設計，實現了非接觸、無破壞性的高精度表面形貌測量，可適配實驗室研發與工業生產過程控制等多種應用場景，為不同行業的精密測量需求提供可靠支撐。
核心測量技術
NewView™ 9000 以相干掃描干涉技術（CSI） 為核心測量原理，這一技術也是 ZYGO 多款 3D 光學輪廓儀的技術基石。該技術通過窄線寬濾波的 LED 光源產生干涉條紋，對樣品測試表面與理想參考面的偏差進行采樣分析，借助干涉顯微物鏡垂直于樣品表面掃描，可獲取整個視場區域的三維數據地圖，而非單一剖面線輪廓，實現了亞納米級的形貌縱向分辨率。
為保障測量的高保真度，ZYGO 對每一款配套物鏡進行專屬優化，讓干涉條紋包絡的峰值位置與物鏡光學成像焦點相契合，確保在全放大倍數下都能保持穩定的測量精度。同時，設備融合 SureScan™抗振掃描技術，可在存在振動的工業環境中完成精密計量，打破了傳統精密測量設備對嚴苛環境的限制。
產品性能與功能特點
高精度與高重復性測量
設備具備優異的測量精度與重復性，表面形貌重復性可優于 0.08nm，RMS 重復性達 0.008nm；光學橫向分辨率在 100× 物鏡下可達 0.34μm，空間采樣分辨率在 100× 物鏡 2×zoom 下為 0.04μm。臺階高度測量的重復性為 0.1%，精度為 0.03%，能精準捕捉樣品表面納米級的形貌特征，測量結果符合 ISO 25178、ISO 4287/4288 等國際標準。
高效的測量與操作體驗
設備支持高速掃描，不同測量陣列下最大掃描速度可達 171μm/sec，數秒內即可捕獲百萬級數據點，大幅提升測量效率。搭載的 Part Finder 自動條紋對焦與 Smart Setup 智能設置功能，無需專業的專家級培訓，1 分鐘內即可自動找到條紋并完成測試，降低了操作門檻。
同時，設備配備 0.5X-100X 多倍率物鏡，涵蓋標準、長焦、超長焦多種工作距離，搭配 0.5X、0.75X、1.5X、2.0X 可選的 zoom 切換，視場范圍可達 0.04-17.49mm，集成圖像拼接功能后還可實現更大范圍的測量，適配不同尺寸與精度要求的樣品檢測。
智能化的軟件與分析能力
設備搭載 ZYGO 專屬的 Mx™分析測量軟件，可實現完整的系統控制與數據分析，支持交互式三維形貌展示、定量數據輸出，配備直觀的導航欄與內置過程控制（SPC）的統計、控制圖表，還可設置通過 / 失敗限制，貼合工業生產的質量管控需求。
軟件擁有豐富的分析功能：區域分析工具可智能化分離并分析測量數據的不同區域，實現特征高度尺寸量化、溝槽寬度深度分析等；支持拼接測量與自動化功能，可拼接高倍率高分辨率數據，自動測試樣品不同區域，兼顧大視場范圍與高數據密度；內置 Python 編程環境，可編寫自動化測試程序或自定義分析功能，還能創建自定義的軟件界面和控制板，適配不同的測量需求。此外，SmartPSI™技術可實現高精度、高速、低噪聲測量，對超光滑表面的 Sq 結果測量可達 0.06nm。
廣泛的樣品適配性
設備可測量多種材料表面，包括透明、不透明、鍍膜、非鍍膜、反射、弱反射等類型，樣品反射率適配范圍為 0.05%-100%；可耐受的樣品最大傾斜度為光滑樣品 55°（100× 物鏡）、散射面 86°，樣品最大尺寸可達 89×203×203mm（高 × 寬 × 長），更大尺寸樣品可部分懸空放置測量，無需特殊的樣品制備流程，測量過程對樣品無破壞。
設備硬件配置
核心硬件參數
掃描裝置采用閉環反饋電容控制精密壓電陶瓷，帶防撞保護，縱向掃描范圍涵蓋 150μm 精密壓電陶瓷掃描與 20mm 擴展掃描；光源為專利固態白光光源，帶手動限位、孔徑限位與光譜過濾功能；測量陣列可選 1600×1200、1000×1000、1000×600、1000×200 多種規格。
樣品臺分手動與電控兩種類型，手動平臺 XY 向平移范圍 100mm、傾斜 ±3°，電控平臺 XY 向平移范圍 150mm、傾斜 ±3°，編碼 XYZ 軸可選配；精密聚焦支持電控手動與聚焦輔助自動聚焦，100μm 行程下分辨率達 0.1μm，軟件 Mx 中還集成樣件觀察窗，便于樣品定位與觀察。
整機規格與環境要求
設備主機尺寸為 75×64×56cm，含支撐且門關時最大高度為 151×73×61cm，抽屜閉合時為 83×73×61cm；主機重量約 91Kg，整套系統含支撐重量為 229Kg，可選配專用工作臺。
控制系統采用 i7 級別 PC，搭配 23 寸 1080p 顯示器，軟件運行于 64 位 Microsoft Windows 10 系統。設備對環境的適應性較強，工作溫度為 15-30℃，溫度變化率需小于 1.0℃/15 分鐘；相對濕度 5%-95% 且無凝結；內置隔振系統，可隔離 1-120Hz 的震動，震動標準需達到 VC-C 或更好，聲學標準 NC30 或更好；供電為 100-240VAC、50/60Hz。
典型應用場景
NewView™ 9000 3D 光學表面輪廓儀憑借多維度的性能優勢，可覆蓋多個行業的精密測量需求，成為工藝控制與研發創新的重要計量工具：
- 精密機械加工：可測量機械零件的表面粗糙度、面形、波紋度，精準檢測臺階高度、溝槽尺寸等關鍵參數，幫助企業嚴格控制制造過程，解決工藝加工中的精度問題，尤其可檢測傳動齒輪接觸面的中頻波紋度等傳統計量方式難以捕捉的誤差，助力提升零部件加工質量。
- 光學制造：適配光學元件的超精密測量需求，可檢測光學鏡片、透鏡等產品的表面形貌，借助多倍率物鏡測量不同空間頻率的表面特征，SmartPSI™技術可快速完成超光滑光學表面的粗糙度測量，助力管控精密光學制造工藝。
- 消費電子：可測量手機攝像頭、面板、半導體器件等產品的臺階、深度、紋理與關鍵尺寸，在單臺設備上完成多參數測量，節省工藝時間；靈活的平臺與可移植的應用程序，可實現從研發到量產的計量方案復用，適配消費電子行業從簡單到復雜、小批量到大批量的生產需求。
- 摩擦學與材料研發：在材料研究、表面精加工、潤滑工程等領域，可對金屬、陶瓷、玻璃、PTFE 納米復合膜、類金剛石薄膜等多種材料進行納米級精度的表面特征測量，為磨損分析、新材料表面性能研究提供定量的 3D 形貌數據。
- 透明薄膜測量：可測量厚度大于 400nm 的薄膜，同時獲取薄膜厚度與表面形貌數據，適配光學薄膜、電子薄膜等產品的檢測需求。
- 先進技術研發：為新材料、新表面、新工藝的科學探索提供高精度、高重復性的量化計量結果，助力研發人員分析樣品表面特征與性能的關聯，加速研發進程。
此外，設備還可應用于醫療領域的人工關節植入體等精密部件測量，以及增強現實、虛擬現實顯示器件等創新產品的計量檢測，為各行業的技術升級與產品質量提升提供計量支撐。
定制化與配套服務
ZYGO 擁有專業的工程師團隊，可根據客戶的關鍵計量需求，為 NewView™ 9000 提供定制化解決方案，包括定制樣品夾具、定制保護罩、專屬隔振系統、定制軟件功能，以及系統集成與 OEM 服務等。同時，ZYGO 在全球多地布局服務網絡，憑借數十年的超精密計量技術經驗，為客戶提供技術支持與服務保障，確保設備始終保持穩定的測量性能，貼合客戶在研發與生產中的長期計量需求。
NewView™ 9000 3D 光學表面輪廓儀將非接觸測量技術、高精度性能與智能化設計深度融合，既滿足實驗室的高端研發測量需求，也能適配工業生產的過程控制與在線檢測，是各行業實現精密計量、提升產品質量與研發效率的重要選擇。
光學計量廣泛用于實驗室測量和工業制造中過程控制。基于光學計量方案測量表面形貌；具有非接 觸、無破壞性、高敏感性的特點，計量結果分辨率和精度出色——這都是現代工業制造和研發 應用所必需的。
為什么選擇3D 光學輪廓儀?
現代科技產品開發，常常是由關鍵表面的關 鍵性能來推動。3D 光學輪廓儀，用于測量關 鍵面的光潔度、粗糙度和形貌。ZYGO 3D光 學輪廓儀是您測量工具，因為我們能精 確、定量、非接觸測量，在數秒內捕獲百萬 數據點，表征樣品表面納米級形貌特征，計 量結果符合ISO 標準。
NewViewTM 9000 3D 光學表面輪廓儀，易于使用，擁 有多項優良專業與創新技術，ZYGO 為您提供這一專業解決方案。
它們高度自動化，用途廣泛，測試速度快，精度高；可選多種 配置，用于測量超光滑，粗糙或者大坡度表面。
在測量不同表面結構和紋理時，客戶可以選擇獲得數百個參數結 果，包括符合ISO 25178標準的表面粗糙度結果，以及符合
ISO 4287/4288的二維輪廓參數。
ZYGO 3D光學輪廓儀，不僅僅是比傳統的接觸式輪廓儀測量表 面時更快，測量的視野更大，數據點更多；我們在精度和準確度 上，比傳統的接觸式輪廓儀更上一層樓。
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